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【図書】 微細加工 貸出可

中野 朝安／[ほか]共著 -- 東京電機大学出版局 -- 1989.3 -- 549.7549.7 549.7 , 549.7

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /549.7/ﾅｶ/ 102173184 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 微細加工
副書名 サブミクロン素子への展開
著者 中野 朝安 ／[ほか]共著  
出版者 東京電機大学出版局
出版年 1989.3
ページ数 240p
大きさ 21cm
一般件名 集積回路
NDC分類(9版) 549.7
NDC分類(10版) 549.7
ISBN 4-501-31330-7 国立国会図書館 カーリル

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