権藤 靖夫/責任編集 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549549 549 , 549

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /420.72/ゴン/ 102525420 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 薄膜
叢書名 実験物理学講座
著者 権藤 靖夫 /責任編集  
出版者 共立出版
出版年 1992.9
ページ数 418p
大きさ 22cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549
NDC分類(10版) 549
内容紹介 現在の急速なエレクトロニクスの進歩を支えている薄膜製作技術と薄膜の各種物性について、薄膜製作条件と関連させ、体系的にまとめると共に各項目ごとに解説を加える。
ISBN 4-320-03063-X 国立国会図書館 カーリル