資料詳細

【図書】はじめての半導体製造装置貸出可

前田和夫／著 -- 工業調査会 -- 1999.3 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	棚区分	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態	WEB書棚
山形県立	地下書庫		/549.8/ﾏｴ/	105125326	一般和書	帯出可	在庫

タイトル	はじめての半導体製造装置
叢書名	ビギナーズブックス
著者	前田和夫／著
出版者	工業調査会
出版年	1999.3
ページ数	254p
大きさ	21cm
一般件名	半導体
NDC分類(9版)	549.8
NDC分類(10版)	549.8
内容紹介	すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。
ISBN	4-7693-1169-9