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    チャールズM.シュルツ
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【図書】 シリコン 貸出可

阿部 孝夫／著 -- 培風館 -- 1994.5 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /549.8/ｱﾍﾞ/1-5 104145480 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル シリコン
副書名 結晶成長とウェーハ加工
叢書名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者 阿部 孝夫 ／著  
出版者 培風館
出版年 1994.5
ページ数 361p
大きさ 22cm
一般件名 シリコン(半導体)
NDC分類(9版) 549.8
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 「神の賜物」と呼ばれる、優れた特性を数多く持つシリコンの製作法の歴史を振り返り、現在の技術的問題について検証し、さらに今後予想されるギガビット級D-RAMなどのデバイスに要求されるウェーハ開発のための技術に至るまで詳述した解説書。
ISBN 4-563-03605-6 国立国会図書館 カーリル

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