平谷 雄二/著 -- コロナ社 -- 2001.10 -- 534.93534.93 534.93 , 534.93

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山形県立 地下書庫 /534.93/ヒラ/ 105440604 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル ビジュアル真空技術
著者 平谷 雄二 /著  
出版者 コロナ社
出版年 2001.10
ページ数 193p
大きさ 21cm
一般件名 真空技術
NDC分類(9版) 534.93
NDC分類(10版) 534.93
内容紹介 真空装置を使って結晶成長、薄膜を形成する研究室や職場に新しく配属された人を対象にした書。真空装置の心臓部のポンプと感覚器官にあたる真空計について述べる。真空技術でよく使われる式を導出し、適宜演習問題を付す。
ISBN 4-339-00736-6 国立国会図書館 カーリル