上西 勝三/著 -- 日本理工出版会 -- 2001.10 -- 549.7549.7 549.7 , 549.7

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山形県立 地下書庫 /549.7/カミ/ 105495433 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 集積回路工学
著者 上西 勝三 /著  
出版者 日本理工出版会
出版年 2001.10
ページ数 214p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
NDC分類(9版) 549.7
NDC分類(10版) 549.7
内容紹介 大きな産業分野に成長した集積回路について、プロセス技術や今後の発展における問題点を紹介。教科書としてだけでなく、幅広い人にも利用できるよう全体の製法工程についても解説する。
ISBN 4-89019-213-1 国立国会図書館 カーリル