資料詳細

【図書】超精密洗浄技術の開発貸出可

角田光雄／監修 -- シーエムシー -- 2000.9 -- 576.5576.5 576.5 , 576.5

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	棚区分	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態	WEB書棚
山形県立	地下書庫		/576.5/ｼｴ/	105479381	一般和書	帯出可	在庫

タイトル	超精密洗浄技術の開発
叢書名	CMC books
著者	角田光雄／監修
出版者	シーエムシー
出版年	2000.9
ページ数	247p
大きさ	21cm
一般件名	洗浄法
NDC分類(9版)	576.5
NDC分類(10版)	576.5
内容紹介	精密洗浄と超精密洗浄に関し、定義・メカニズム・評価から様々な洗浄システムの解説及び有機溶剤系・水系・アルコール系などの洗浄剤の動向等を詳述。92年刊「超精密洗浄技術」の普及版。
ISBN	4-88231-083-X