アルバック/編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93534.93 534.93 , 534.93

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /534.93/アル/ 105599298 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 真空ハンドブック
著者 アルバック /編  
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術-便覧
NDC分類(9版) 534.93
NDC分類(10版) 534.93
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ISBN 4-274-08727-1 国立国会図書館 カーリル