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【図書】 光マイクロマシン 貸出可

沢田 廉士／共著 -- オーム社 -- 2002.11 -- 549.95549.95 549.95 , 549.95

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /549.95/ｻﾜ/ 105647926 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 光マイクロマシン
著者 沢田 廉士 ／共著, 羽根 一博 ／共著, 日暮 栄治 ／共著  
出版者 オーム社
出版年 2002.11
ページ数 424p
大きさ 22cm
一般件名 オプトエレクトロニクス , マイクロマシン
NDC分類(9版) 549.95
NDC分類(10版) 549.95
内容紹介 半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。
ISBN 4-274-03589-1 国立国会図書館 カーリル

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