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【図書】 薄膜工学 貸出可

金原 粲／監修 -- 丸善 -- 2003.3 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

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山形県立 地下書庫 /549.8/ｼﾗ/ 105682608 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 ／監修, 白木 靖寛 ／編著, 吉田 貞史 ／編著  
出版者 丸善
出版年 2003.3
ページ数 310p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。薄膜技術の基本事項、最新技術について、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説。
ISBN 4-621-07143-2 国立国会図書館 カーリル

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