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【図書】 トコトンやさしい超微細加工の本 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549549 549 , 549

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 一般開架 /549.8/ｱｻ/ 105772461 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
叢書名 B&Tブックス
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 549
NDC分類(10版) 549
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4 国立国会図書館 カーリル

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