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【図書】 進化するマイクロマシン 貸出可

マイクロマシンセンター／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530530 530 , 530

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /530/ﾏｲ/ 106004530 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 進化するマイクロマシン
副書名 産業化のロードマップとナノとの融合
著者 マイクロマシンセンター ／監修, μM産業化研究会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.11
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
NDC分類(10版) 530
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
ISBN 4-526-05227-2 国立国会図書館 カーリル

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