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【図書】 MEMSのはなし 貸出可

前田 龍太郎／編著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.1 -- 530530 530 , 530

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山形県立 地下書庫 /530/ﾏｴ/ 106022423 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル MEMSのはなし
叢書名 Science and technology
著者 前田 龍太郎 ／編著, 池原 毅 ／著, 小林 健 ／著, 単 学伝 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.1
ページ数 6,126p
大きさ 19cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
NDC分類(10版) 530
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
ISBN 4-526-05404-6 国立国会図書館 カーリル

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