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【図書】 レジスト材料 貸出可

伊藤 洋／著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 549.7549.7 549.7 , 549.7

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /549.7/ｲﾄ/ 106027034 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル レジスト材料
叢書名 高分子先端材料One Point
著者 伊藤 洋 ／著  
出版者 共立出版
出版年 2005.2
ページ数 4,104p
大きさ 19cm
一般件名 リソグラフィー , 感光性樹脂
NDC分類(9版) 549.7
NDC分類(10版) 549.7
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
ISBN 4-320-04372-3 国立国会図書館 カーリル

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