大塚 二郎/著 -- 工業調査会 -- 2005.2 -- 532532 532 , 532

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山形県立 地下書庫 /532/オオ/ 106029908 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
著者 大塚 二郎 /著  
出版者 工業調査会
出版年 2005.2
ページ数 189p
大きさ 21cm
一般件名 工作機械 , 自動制御 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 532
NDC分類(10版) 532
内容紹介 分解能0.2ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの技術動向、事例研究を掲載する。
ISBN 4-7693-2175-9 国立国会図書館 カーリル