資料詳細

【図書】機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理貸出可

近藤英一／著 -- 共立出版 -- 2005.10 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

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所蔵館	所蔵場所	棚区分	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態	WEB書棚
山形県立	一般開架		/549.8/ｺﾝ/	106366211	一般和書	帯出可	在庫

タイトル	機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
著者	近藤英一／著
出版者	共立出版
出版年	2005.10
ページ数	9,226p
大きさ	21cm
一般件名	薄膜 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版)	549.8
NDC分類(10版)	549.8
内容紹介	気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
ISBN	4-320-08154-4