菊地 正典/著 -- ダイヤモンド社 -- 2012.8 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

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山形県立 一般開架 /549.8/キク/ 108587975 一般和書 帯出可 貸出中 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 半導体工場のすべて
副書名 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで
著者 菊地 正典 /著  
出版者 ダイヤモンド社
出版年 2012.8
ページ数 235p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 情報化の進んだ現代社会を根底で支えるために不可欠な半導体。最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。
ISBN 4-478-01728-9 国立国会図書館 カーリル
ISBN13桁 978-4-478-01728-9