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【図書】 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 549.8549.8 549.8 , 549.8

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所蔵館 所蔵場所 棚区分 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態 WEB書棚
山形県立 地下書庫 /549.8/ｻﾄ/ 108933784 一般和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 製造装置の全体を俯瞰する
叢書名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-4726-3 国立国会図書館 カーリル
ISBN13桁 978-4-7980-4726-3

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